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Publication : IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control

Experimental study of phase noise in FBAR resonators

Domaines Scientifiques
Maladies
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Technique

Publié sur IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control - 01 Nov 2006

Gribaldo S, Chay C, Tournier E, Llopis O

Lien vers Pubmed [PMID] – 17091834

IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control 2006 Nov;53(11):1982-7

Phase noise of micromachined bulk acoustic wave resonators is investigated. A measurement bench, able to characterize the phase noise of a single resonator on-wafer, is set up. The experimental data demonstrate the existence of a 1/f phase noise component, the amplitude of which is strongly dependent on the resonator geometry. Particularly, the apodized resonators have shown the best phase noise performance, with no degradation of the Q factor.

http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed/17091834